Оборудование полупроводникового производства
Блинов И.Г., Кожитов Л.В.
Изложены вопросы конструирования и особенности основных видов технологического оборудования полупроводникового производства. Сформулированы требования к оборудованию, определяемые технологическими процессами, и даны практические рекомендации по их реализации. Отмечена необходимость системного подхода к комплексной механизации и автоматизации производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Для студентов, изучающих оборудование полупроводникового производства в курсах «Полупроводниковые и микроэлектронные приборы», «Технология специальных материалов электронной техники» и «Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение».
साल:
1986
प्रकाशन:
Машиностроение
भाषा:
russian
पृष्ठ:
139
फ़ाइल:
PDF, 98.33 MB
IPFS:
,
russian, 1986
Litres
क्या आप अपना बुक स्टोर जोड़ना चाहेंगे? support@z-lib.do पर हमसे संपर्क करें
फ़ाइल कन्वर्टर
अधिक खोज परिणाम
अधिक लाभ 
